形状图片大全检测激光行业显微系统的 VK-X 系例

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最新推荐带替设备: 测量头 - VK-X3100

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检测的头 (蓝色半导体器件缴光) VK-X1100

VK-X1100 - 测量头 (紫色半导体激光)

*请需注意,商品图片中的部件将不还有在服务中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

参数VK-X1100
类型的在线测量头
综上倍数

28,800 倍以下*1

视线中 (世界上最大视线中标准)11 µm 至 7,398 µm
帧率 (智能机械衡量车速)

4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

量测设计原理光纤激光切割机的软件针孔共集聚磁学装置、光学变焦
光考虑部件16 bit 感觉光電飙升器、高精巧五颜六色CMOS

扫描方式
(常规测量时及图像拼接时)

系统自动前后左右限设置好职能、高速路光量最好的化职能 (AAGII)、条件折射光量过高添加职能 (双测试)
极度检测的提示 区分率0.5 nm
线性网络表尺

动态量程
(来自工件的光接收量的适用幅度)

16 bit
抄袭的精密度σ激光机器共焦聚20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm
调焦5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm
间距的数据提取比率70 万工作步骤
准确的性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3

横向衡量出现鉴别率1 nm
抄袭精确度 3σ脉冲激光共聚交20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm
调焦5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm
完整性性

测量值±2 % 以内*3

XY 载物台的结构手动式 使用面积70 mm x 70 mm
直流电动 启动範圍100 mm x 100 mm
观查检查图象非常高专注颜色CMOS 影像、16 bit 机光颜色共话题影像、共话题 + ND 滤波器光学元件软件系统、C - 机光微分干预影像
照射环状采光、同轴落射采光
测定用激光机器照明光波长黑色半导体芯片机光 404 nm
比较大输入输出1 mW
机光产品设备2 类激光束成品 (GB7247.1)
交流电源电源适配器电阻100 至 240 VAC、50/60 Hz
需求量感应电流150 VA
质量约 13.0 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

工艺规格参数(PDF) 其他款型