图型精确测量激光束显微软件 VK-X3000 类别

估测头 VK-X3100

VK-X3100 - 测量头

*请主意，商品图片中的辅件或者不主要包括在车辆中。

规格

主要参数		VK-X3100
的类型		测量方法头
综合性系数		42 至 28800 倍^*1
角度超范围		11 至 7398 μm
测定的原理		缴光共凝焦、凝焦波动、白光灯干扰、分光干扰
缴光LED光源激发光谱		光电器件脉冲光 404 nm
最高的二氧化碳激光侧量快速		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
激光手术极大导出		0.9 mW
激光手术等级保护		2 类离子束產品（GB7247.1）
脉冲光受光构件		16 bit 光感应光学培增器
黄白色线光源		白色的 LED
粉色光受光电气元件		过高柔性生产采色 CMOS
皮秒激光共准确把握	层面表明区分率	0.1 nm
	层面反复重复要求 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：12 nm
	极度更准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	净宽彰显识别率	0.1 nm
	长宽比再次精确 3σ	10 倍：200 nm、20 倍：100 nm、50 倍：40 nm
	尺寸正确性性	测量值 ±2% 以内^*3
凝聚变换	相对高度屏幕上显示辨别好坏率	0.1 nm
	极高再次精密度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：20 nm
	长度为准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	横向体现粪便率	0.1 nm
	长宽去重复准确度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：50 nm
	屏幕宽度匹配最可靠性	测量值 ±2% 以内^*3
白光灯打搅	较高出现分别率	0.01 nm
	长度出现辨别率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光干涉现象膜厚侧量	反复控制精度 σ	0.1 nm^*4
	最准确度	±0.6%^*4
磁学观察动物	像数数	560 万
	变换器	6 孔电动四轮快门切换器
	实主要适用于环状灯饰的画面	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光学玻璃光学变焦	1 至 8 倍
XY 载物台空间结构	手動行驶範圍	70 × 70 mm
	电动四轮作业範圍	100 × 100 mm
电原	主机电源的电压	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	使用量工作电压	150 VA
区域环境抗忍耐性	周围环境室温	+15 至 28°C
	相对来说空气湿度	20 至 80% RH（无冷却）
含水量		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

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