造型检测激光器显微系統 VK-X 型号

本型号已停产。
产品符合从我司发货时的认证标准。

最新推荐重复使用产品的: 测量头 - VK-X3050

校正头 (紫色半导皮秒激光) VK-X1050

VK-X1050 - 测量头 (红色半导体激光)

*请需要注意,圖片中的配饰也许 不涉及到在的产品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

产品型号VK-X1050
款式精确测量头
综合性倍数

28,800 倍以下*1

眼光 (面积最小眼光使用范围)11 µm 至 7,398 µm
帧率 (缴光衡量强度)

4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

测定原理图光学反应软件系统针孔共把握光学仪器体统、对焦
光读取部件16 bit 感器光电技术培增器、高精深彩色的CMOS

扫描方式
(常规测量时及图像拼接时)

自动化上下两边限控制特点、迅速光量更优化特点 (AAGII)、散射光量缺陷补足特点 (双扫描软件)
高校正出现辨别好坏率5 nm
直线表尺

动态量程
(来自工件的光接收量的适用幅度)

16 bit
重叠高精准度σ激光器共集聚20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm
微距5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm
高速数据表格获得範圍70 万步凑
确切性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3

间距侧量体现识别率10 nm
重复使用误差 3σ脉冲光共聚焦点20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm
微距5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm
精准的性

测量值±2 % 以内*3

XY 载物台构造自动 开机运行范围图70 mm x 70 mm
智能 作业面积100 mm x 100 mm
留意查看图像文件超宽精密细多彩CMOS 图案、16 bit 二氧化碳激光手术多彩共大家都讨论图案、共大家都讨论 + ND 滤波器光学反应体系、C - 二氧化碳激光手术微分干预图案
灯具照明环状灯饰照明工程、同轴落射灯饰照明工程
检测的用脉冲光光照光波波长粉红色光电器件智能机械 661 nm
最大化内容输出1 mW
脉冲激光厂品2 类智能机械软件 (GB7247.1)
主机电源24v电源相电压100 至 240 VAC、50/60 Hz
使用量交流电150 VA
体重约 13.0 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

新技术规格为(PDF) 某些主要参数