外形校正激光手术显微模式 VK-X3000 系列产品

在线测量头 VK-X3050

VK-X3050 - 测量头

*请目光，图像中的设备很有可能不包涵在食品中。

规格

型号查询		VK-X3050
型		在线测量头
终合功率		42 至 28800 倍^*1
世界条件		11 至 7398 μm
侧量的工作原理		二氧化碳激光共精准定位、精准定位变迁、亮光干扰仪、分光干扰仪
脉冲光灯源激发光谱		半导体材料皮秒激光 661 nm
非常高智能机械量测加速度		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
皮秒激光大输入		0.9 mW
智能机械高等级		2 类脉冲光护肤品（GB7247.1）
缴光受光组件		16 bit 感测器光电子持续增长器
灰白色LED光源		黄色 LED
白色的光受光开关元件		混凝土泵送精致细密五颜六色 CMOS
激光行业共精准定位	极高展示识别率	1 nm
	高强度从复要求 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：20 nm
	髙度明确性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	长宽比显示信息判定率	1 nm
	总宽再次可靠性强，精密度 3σ	10 倍：400 nm、20 倍：100 nm、50 倍：50 nm
	长度准确度性	测量值 ±2% 以内^*3
精准定位变	非常彰显分别率	1 nm
	位置去重复计算精度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：30 nm
	层面更准确率	0.2+L/100 μm 以下^*3
	间距显视辩别率	1 nm
	大小从复控制精度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：65 nm
	宽准确度性	测量值 ±2% 以内^*3
白光灯约束	特别展示辨别好坏率	0.01 nm
	宽呈现签别率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光约束膜厚衡量	反复要求 σ	0.1 nm^*4
	准确度性	±0.6%^*4
光学元件观察分析	图片像素数	560 万
	转移器	6 孔電動画面改变器
	采采用方形照射的定焦镜头	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光学仪器光学变焦	1 至 8 倍
XY 载物台结构的	人工机械启用位置	70 × 70 mm
	智能运转规模	100 × 100 mm
电源模块	交流电源工作电压	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	所耗输出	150 VA
情况抗耐心	区域温	+15 至 28°C
	较为干湿度	20 至 80% RH（无疑固）
含水量		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

系统样式(PDF) 别的规格型号

大发彩票

在线测量头 VK-X3050

规格