设定器 VK-X250K

VK-X250K - 控制器

*请注重，全部图片中的零配件也许不涉及在成品中。

技术规格(PDF)

技术水平样式(PDF)

规格

产品型号		VK-X250K
综和倍数		28000 倍以下^*1
眼光 (超小洞察分析标准)		11 µm 至 5400 µm
帧几率	脉冲激光检测进程	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
在线测量设计原理	光学薄膜系统性	针孔共集中光电器件体系
	光收发pcb板	光电技术增倍器、16 bit 感觉
	扫锚手段 (常规的衡量时及图形相连接时)	定时上上下下限使用用途稳定光量绝佳化用途(AAG Ⅱ)折射光量严重不足补冲用途(双打印)
髙度量测	凸显辩认率	0.5 nm
	平滑表尺
	动态数据测量范围 (来自于轴类的光考虑量的采用浮度)	16 bit
	再次精确度σ	20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm^*3
	Z轴侧量用电脑内存	1400 万步聚
	为准性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台构造	节构	自动测量头溶合空间结构
	很大仿品髙度	28 mm, 128 mm (可供选择件)
屏幕宽度匹配校正	显视辩别率	1 nm
	再次精确度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm^*3
	明确性	±2％^*5
XY 载物台成分	自动改手动运作规模	70 mm×70 mm
	智能使用的范围	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
检查	观察分析图片	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	最高拍攝介绍率	3072×2304
在线测量用机光线光源	光波长	紫脉冲激光 408 nm
	明显转换	0.95 mW
	缴光设备	2 类激光手术设备 (GB7247.1)
克重	测试部	约26 kg(转移时估测头竞聚率: 约10 kg)
	把握器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

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