保持器 VK-X3000
规格
技术参数 | VK-X3000 | |||
类别 | 管控器 | |||
综合性倍数 | 42 至 28800 倍*1 | |||
眼光使用范围 | 11 至 7398 μm | |||
精确测量的基本原理 | 智能机械共整合、整合发展、白光灯打搅、分光打搅 | |||
二氧化碳激光点光源主波长 | VK-X3100: 半导体激光 404 nm | |||
非常高皮秒激光侧量网络速度 | 面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2 | |||
激光器上限输出电压 | 0.9 mW | |||
激光束品级 | 2 类激光手术產品(GB7247.1) | |||
皮秒激光受光器件 | 16 bit 红外感应光学净增器 | |||
黄白色的光源 | 纯白色 LED | |||
紫色光受光部件 | 超长精密细色彩 CMOS | |||
脉冲光共自动对焦 | 髙度现示判断率 | VK-X3100: 0.1 nm | ||
超高相似高精准度 σ | VK-X3100: 10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :12 nm | |||
极高准确度性 | 0.2+L/100 μm 以下*3 | |||
长宽比现示判别率 | VK-X3100: 0.1 nm | |||
高度重新精度等级 3σ | VK-X3100: 10 倍 :200 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :40 nm | |||
长度明确性 | 测量值 ±2% 以内*3 | |||
焦点转化 | 特别显视辩认率 | VK-X3100: 0.1 nm | ||
超高再次gps精度 σ | VK-X3100: 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、 | |||
超高精准性 | 0.2+L/100 μm 以下*3 | |||
长度表现辨别好坏率 | VK-X3100: 0.1 nm | |||
高度重复使用准确度 3σ | VK-X3100: 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、 | |||
厚度最数据质量 | 测量值 ±2% 以内*3 | |||
白炽抵触 | 的高度屏幕上显示识别率 | 0.01 nm | ||
尺寸表示判断率 | 0.1 nm | |||
Surface Topography Repeatability | 0.08 nm*4 | |||
Repeatability of RMS | 0.008 nm*4 | |||
分光抵触膜厚测试 | 多个控制精度 σ | 0.1 nm*4 | ||
最可靠性 | ±0.6%*4 | |||
磁学关察 | 图片像素数 | 560 万 | ||
切换器 | 6 孔电动式定焦镜头改变器 | |||
选在环状户外照明的广角镜头 | 2.5 倍、5 倍、10 倍 | |||
光学玻璃调焦 | 1 至 8 倍 | |||
XY 载物台机构 | 带有大量手动运动范围图 | 70 × 70 mm | ||
电动伸缩作业超范围 | 100 × 100 mm | |||
交流电源 | 交流电源输出功率 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
耗费热效率 | 150 VA | |||
自然环境抗忍耐性 | 自然环境温湿度 | +15 至 28°C | ||
相对来说气温 | 20 至 80% RH(无凝聚) | |||
含量 | 约 3 kg | |||
*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时) |