形式预估机光显微软件 VK-X3000 系列产品

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保持器 VK-X3000

VK-X3000 - 控制器

*请小心,照片中的五金配件也许不属于在货品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

技术参数VK-X3000
类别管控器
综合性倍数

42 至 28800 倍*1

眼光使用范围 11 至 7398 μm
精确测量的基本原理智能机械共整合、整合发展、白光灯打搅、分光打搅
二氧化碳激光点光源主波长

VK-X3100: 半导体激光 404 nm
VK-X3050: 半导体激光 661 nm

非常高皮秒激光侧量网络速度

面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2

激光器上限输出电压0.9 mW
激光束品级2 类激光手术產品(GB7247.1)
皮秒激光受光器件16 bit 红外感应光学净增器
黄白色的光源纯白色 LED
紫色光受光部件超长精密细色彩 CMOS
脉冲光共自动对焦髙度现示判断率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

超高相似高精准度 σ

VK-X3100: 10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :12 nm
VK-X3050: 10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :20 nm

极高准确度性

0.2+L/100 μm 以下*3

长宽比现示判别率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

高度重新精度等级 3σ

VK-X3100: 10 倍 :200 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :40 nm
VK-X3050: 10 倍 :400 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :50 nm

长度明确性

测量值 ±2% 以内*3

焦点转化特别显视辩认率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

超高再次gps精度 σ

VK-X3100: 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、
20 倍 :50 nm、50 倍 :20 nm
VK-X3050: 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、
20 倍 :50 nm、50 倍 :30 nm

超高精准性

0.2+L/100 μm 以下*3

长度表现辨别好坏率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

高度重复使用准确度 3σ

VK-X3100: 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、
50 倍 :50 nm
VK-X3050: 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、
50 倍 :65 nm

厚度最数据质量

测量值 ±2% 以内*3

白炽抵触的高度屏幕上显示识别率0.01 nm
尺寸表示判断率0.1 nm
Surface Topography Repeatability

0.08 nm*4

Repeatability of RMS

0.008 nm*4

分光抵触膜厚测试多个控制精度 σ

0.1 nm*4

最可靠性

±0.6%*4

磁学关察图片像素数560 万
切换器6 孔电动式定焦镜头改变器
选在环状户外照明的广角镜头2.5 倍、5 倍、10 倍
光学玻璃调焦1 至 8 倍
XY 载物台机构带有大量手动运动范围图70 × 70 mm
电动伸缩作业超范围100 × 100 mm
交流电源交流电源输出功率100 至 240 VAC、50/60 Hz
耗费热效率150 VA
自然环境抗忍耐性自然环境温湿度+15 至 28°C
相对来说气温20 至 80% RH(无凝聚)
含量约 3 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时)
*2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中,取最快的一组组合时。线扫描的情况下,测量间距小于 0.1 μm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时
*4 基恩士规定测量环境下的代表值。

系统规格参数(PDF) 其它的型号规格