预估头 (橘红色半导体行业机光) VK-X1050

VK-X1050 - 测量头 (红色半导体激光)

*请注重，所有图片中的佩饰已经不涵盖在好产品中。

技术规格(PDF)

技术设备要求(PDF)

规格

参数			VK-X1050
类型的			检测的头
总体倍数			28,800 倍以下^*1
视线中 (比较小视线中范围图)			11 µm 至 7,398 µm
帧率 (激光束测量方法高速度)			4 至 125 Hz、7,900 Hz^*2
测试机理	光学反应软件		针孔共集焦光学玻璃装置、调焦
	光发送到部件		16 bit 光感应光电科技增长器、超标精准采色CMOS
	扫描方式 (常规测量时及图像拼接时)		自动化左右侧限设制技能、高光量最加化技能 (AAGII)、反射强度光量不佳補充技能 (双扫描仪扫描)
相对高度估测	显视辩别率		5 nm
	非线性尺标
	动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)		16 bit
	连续gps精度σ	激光器共自动对焦	20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm
		对焦	5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm
	高数据显示提取范围图		70 万操作步骤
	精准的性		0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)^*3
总宽估测	显现识别率		10 nm
	再次精准度 3σ	脉冲激光共集中	20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm
		对焦	5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm
	最准性		测量值±2 % 以内^*3
XY 载物台的结构	带有大量手动运作空间		70 mm x 70 mm
	電動行驶标准		100 mm x 100 mm
关察	留意画面		超宽精深有颜色CMOS 图面、16 bit 机光有颜色共中心点图面、共中心点 + ND 滤波器光学仪器系统性、C - 机光微分干涉仪图面
	户外照明		环状灯具设备、同轴落射灯具设备
在线测量用缴光的光源	光谱		网红半导体材料脉冲激光 661 nm
	非常大读取		1 mW
	缴光企业产品		2 类离子束好产品 (GB7247.1)
电原	电源线电压电流		100 至 240 VAC、50/60 Hz
	需求电流大小		150 VA
含水量			约 13.0 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

技术性规格参数(PDF) 另一个主要参数