外观在测量激光器显微模式 VK-X3000 国产

自动测量头 VK-X3100

VK-X3100 - 测量头

*请考虑，图片文字中的备件有机会不主要包括在商品中。

规格

款型		VK-X3100
内型		校正头
全方位的倍数		42 至 28800 倍^*1
生理盲点比率		11 至 7398 μm
测定的基本原理		机光共凝聚、凝聚的变化、白光灯干预现象、分光干预现象
激光行业led灯光光谱		半导激光器 404 nm
较高缴光侧量转速		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
激光器最多打印输出		0.9 mW
脉冲光等级分		2 类智能机械成品（GB7247.1）
激光机器受光pcb板		16 bit 感觉光电科技净增器
粉色点光源		洁白 LED
纯白色光受光pcb板		超低精微多彩 CMOS
皮秒激光共凝焦	高表示判定率	0.1 nm
	相对高度相似精度等级 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：12 nm
	相对高度精准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	长宽信息显示区分率	0.1 nm
	净宽重复使用精密度 3σ	10 倍：200 nm、20 倍：100 nm、50 倍：40 nm
	长宽精准的性	测量值 ±2% 以内^*3
聚交变换	层面展示辨别好坏率	0.1 nm
	的高度连续控制精度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：20 nm
	程度为准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	高度表示辨别率	0.1 nm
	横向多个gps精度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：50 nm
	净宽最可靠性	测量值 ±2% 以内^*3
亮光涉及	程度表现辨别率	0.01 nm
	间距凸显分辩率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光干涉仪膜厚校正	去重复导致精度 σ	0.1 nm^*4
	准确度性	±0.6%^*4
光电观察分析	清晰度数	560 万
	准换器	6 孔电动三轮微距镜头切换器
	可采用于环状灯具的单反镜头	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光电技术微距	1 至 8 倍
XY 载物台结构类型	全自动使用依据	70 × 70 mm
	电动伸缩正常运作使用范围	100 × 100 mm
交流电源	电源线电阻值	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	使用量功效	150 VA
生态环境抗忍耐性	区域环境湿度	+15 至 28°C
	对比气温	20 至 80% RH（无凝固）
净重		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

技术性技术参数(PDF) 其他技术参数

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