量测头 VK-X3050

VK-X3050 - 测量头

*请准备,图像中的零部件将会不包含在厂品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号规格VK-X3050
性质在线测量头
终合功率

42 至 28800 倍*1

视眼超范围 11 至 7398 μm
量测远离机光共专注、专注变化规律、亮光涉及现象、分光涉及现象
机光点光源吸光度光电器件二氧化碳激光 661 nm
最大智能机械测定速度快

面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2

智能机械极限输入输出0.9 mW
激光手术会员等级2 类激光手术的产品(GB7247.1)
皮秒激光受光电子器件16 bit 光感应光电公司增涨器
洁白灯源黄白色 LED
灰黑色光受光电子器件超长柔性生产彩色的 CMOS
激光行业共凝焦极高展示甄别率1 nm
位置重复使用精度等级 σ10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :20 nm
特别准确无误性

0.2+L/100 μm 以下*3

大小信息显示判断率1 nm
横向重新要求 3σ10 倍 :400 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :50 nm
高宽比为准性

测量值 ±2% 以内*3

对焦變化角度屏幕上显示粪便率1 nm
长度重复使用控制精度 σ

5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、
20 倍 :50 nm、50 倍 :30 nm

高宽比准确无误性

0.2+L/100 μm 以下*3

大小显现辨认率1 nm
总宽重叠高精准度 3σ

5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、
50 倍 :65 nm

长宽比精准的性

测量值 ±2% 以内*3

白炽干预高强度表明辨认率0.01 nm
尺寸体现辨认率0.1 nm
Surface Topography Repeatability

0.08 nm*4

Repeatability of RMS

0.008 nm*4

分光约束膜厚在线测量连续计算精度 σ

0.1 nm*4

精确度性

±0.6%*4

光纤激光切割机的探究像数数560 万
换算器6 孔电动式定焦镜头换为器
使用作弧形光照的画面2.5 倍、5 倍、10 倍
光电技术光学变焦1 至 8 倍
XY 载物台空间结构手動开机运行位置70 × 70 mm
电动伸缩作业超范围100 × 100 mm
供电电源线相电压100 至 240 VAC、50/60 Hz
损耗工作功率150 VA
区域抗意志力生活环境热度+15 至 28°C
相对的对环境湿度的20 至 80% RH(无缓凝)
体积约 13 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时)
*2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中,取最快的一组组合时。线扫描的情况下,测量间距小于 0.1 μm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时
*4 基恩士规定测量环境下的代表值。

水平的规格(PDF) 其它的形号