形态衡量激光机器显微体统 VK-X3000 款型

调控器 VK-X3000

VK-X3000 - 控制器

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规格

主要参数		VK-X3000
内型		操控器
整合倍数		42 至 28800 倍^*1
视域规模		11 至 7398 μm
预估机制		激光器共自动对焦、自动对焦转变、亮光涉及、分光涉及
激光器灯光激发光谱		VK-X3100: 半导体激光 404 nm VK-X3050: 半导体激光 661 nm
最高的人机光測量运行速度		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
脉冲光最主要传输		0.9 mW
激光器级别为		2 类激光束物品（GB7247.1）
激光行业受光组件		16 bit 感应器光学增涨器
洁白光照		纯白色 LED
白色的光受光电气元件		混凝土泵送精益求精五彩 CMOS
缴光共聚焦点	极高提示辩认率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	超高相似的精密度 σ	VK-X3100: 10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：12 nm VK-X3050: 10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：20 nm
	非常精准的性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	长宽比表示鉴别率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	间距相同的精密度 3σ	VK-X3100: 10 倍：200 nm、20 倍：100 nm、50 倍：40 nm VK-X3050: 10 倍：400 nm、20 倍：100 nm、50 倍：50 nm
	长宽比正确性	测量值 ±2% 以内^*3
精准定位转变	相对高度体现识别率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	层面抄袭误差 σ	VK-X3100: 5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：20 nm VK-X3050: 5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：30 nm
	相对高度精确性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	长度呈现判别率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	间距连续表面粗糙度 3σ	VK-X3100: 5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：50 nm VK-X3050: 5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：65 nm
	尺寸确切性	测量值 ±2% 以内^*3
白光灯干涉仪	高宽比出现分别率	0.01 nm
	间距显现识别率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光打搅膜厚估测	再次精确 σ	0.1 nm^*4
	正确性	±0.6%^*4
光电看	相素数	560 万
	转成器	6 孔直流电动光圈转换成器
	不适用到环状照明工作的画面	2.5 倍、5 倍、10 倍
	电子光学光学变焦	1 至 8 倍
XY 载物台框架	人工手动开启机组执行依据	70 × 70 mm
	直流电动电脑运行範圍	100 × 100 mm
外接电源	外接电源电流值	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	使用量马力	150 VA
情况抗意志力	区域室温	+15 至 28°C
	取决于干湿度	20 至 80% RH（无冷却）
含量		约 3 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

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