精确测量部 VK-X260K

VK-X260K - 测量部

*请目光，照片中的佩饰会不收录在类产品中。

规格

规格型号		VK-X260K
宗合功率		28000 倍以下^*1
视眼 (不大检查区域)		11 µm 至 5400 µm
帧帧率	激光手术在测量快慢	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
测量方法工作原理	光学材料设计	针孔共聚交光学元件机系统
	光推送构件	光电子持续增长器、16 bit 感应开关
	扫码方案 (基本在测量时及影像接入时)	定时内外限设制系统飞速光量适宜化系统(AAG Ⅱ)反射性光量缺陷补给系统(双扫描仪扫描)
角度估测	表明甄别率	0.5 nm
	非线性标尺刻度
	静态测量范围 (是来自于工件的的光接收入量的常用小幅度)	16 bit
	反复重复高精度σ	20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm^*3
	Z轴在线测量用手机内存	1400 万布骤
	最准性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台空间结构	框架	精确测量头分离法形式
	极大打样定制高	28 mm, 128 mm (可选装件)
大小在测量	显现判别率	1 nm
	从复精密度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm^*3
	精确性性	±2％^*5
XY 载物台格局	人工手动开启机组电脑运行规模	70 mm×70 mm
	电动伸缩开机运行区域	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
观察植物	看数字图像	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	更大旅拍摄影数据分析率	3072×2304
测量方法用激光行业照明	主波长	紫激光行业 408 nm
	最大程度输送	0.95 mW
	离子束车辆	2 类机光设备 (GB7247.1)
质量	在线测量部	约26 kg(剥离时量测头单个: 约10 kg)
	操作器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

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