的形状预估智能机械显微软件系统 VK-X 类型

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估测部 VK-X160K

VK-X160K - 测量部

*请留意,车辆图片中的车配件可能性不例如在车辆中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号查询VK-X160K
综和倍数

19200 倍以下*1

角度 (最大关察区域)16 µm 至 5400 µm
帧频段脉冲激光測量进程

4 至120 Hz、7,900 Hz*2

量测操作过程光学玻璃设计针孔共集中光学玻璃系统
光发收pcb板光电公司增倍器、16 bit 传器
扫一扫的方式 (常见检测的时及图面联系时)一键内外限设立功效 高速公路光量最加化功效(AAG Ⅱ)射线光量不佳补功效(双测试)
高强度测量方法呈现判别率5 nm
平滑标尺刻度
动向满量程 (来于产品的光接受到量的用于震幅)16 bit
多次控制精度σ

20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3

Z轴自动测量用内存条140 万步凑
有效性性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

Z 载物台结构的节构精确测量头破乳结构特征
比较大原材料非常28 mm, 128 mm (自选件)
宽在测量屏幕上显示分辩率10 nm
再次准确度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3

确切性

±2%*5

XY 载物台型式手动操作时 正常运作标准70 mm×70 mm
電動 运作范畴

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

观察分析图像文件

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

主要拍摄视频讲解率3072×2304
检测用激光机器照明光的波长桔红色光电器件脉冲激光 658 nm
最高导出0.95 mW
激光手术成品2 类激光束物料 (GB7247.1)
含量侧量部约25 kg(分离出来时测量方法头一人: 约8.5 kg)
有效调节器部约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

科技标准(PDF) 其他应用