的形状预估智能机械显微软件系统
VK-X 类型
连系公司: 4008-215-686 建议表
估测部 VK-X160K
规格
型号查询 | VK-X160K | |||
综和倍数 | 19200 倍以下*1 | |||
角度 (最大关察区域) | 16 µm 至 5400 µm | |||
帧频段 | 脉冲激光測量进程 | 4 至120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
量测操作过程 | 光学玻璃设计 | 针孔共集中光学玻璃系统 | ||
光发收pcb板 | 光电公司增倍器、16 bit 传器 | |||
扫一扫的方式 (常见检测的时及图面联系时) | 一键内外限设立功效 高速公路光量最加化功效(AAG Ⅱ)射线光量不佳补功效(双测试) | |||
高强度测量方法 | 呈现判别率 | 5 nm | ||
平滑标尺刻度 | ||||
动向满量程 (来于产品的光接受到量的用于震幅) | 16 bit | |||
多次控制精度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
Z轴自动测量用内存条 | 140 万步凑 | |||
有效性性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
Z 载物台结构的 | 节构 | 精确测量头破乳结构特征 | ||
比较大原材料非常 | 28 mm, 128 mm (自选件) | |||
宽在测量 | 屏幕上显示分辩率 | 10 nm | ||
再次准确度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
确切性 | ±2%*5 | |||
XY 载物台型式 | 手动操作时 正常运作标准 | 70 mm×70 mm | ||
電動 运作范畴 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
看 | 观察分析图像文件 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
主要拍摄视频讲解率 | 3072×2304 | |||
检测用激光机器照明 | 光的波长 | 桔红色光电器件脉冲激光 658 nm | ||
最高导出 | 0.95 mW | |||
激光手术成品 | 2 类激光束物料 (GB7247.1) | |||
含量 | 侧量部 | 约25 kg(分离出来时测量方法头一人: 约8.5 kg) | ||
有效调节器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |