有效驱动器 VK-X150K

VK-X150K - 控制器

*请需要注意，图片搜索中的佩饰也许不分为在服务中。

规格

形号		VK-X150K
合理系数		19200 倍以下^*1
面前 (世界最大关注位置)		16 µm 至 5400 µm
帧平率	脉冲激光在线测量速度快	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
检测的原里	光学玻璃设备	针孔共集中电子光学系统性
	光推送部件	光电科技增倍器、16 bit 自感应
	扫苗措施 (一般测量方法时及图像文件无线连接时)	自动化上下两边限使用工作快速路光量合适化工作(AAG Ⅱ)射线光量不到位补充维生素工作(双扫描仪扫描)
的高度测试	表现分别率	5 nm
	直线表尺
	动态信息示值 (发源零件的光推送量的使用升幅)	16 bit
	反复重复控制精度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴检测用电脑内存	140 万流程
	准确无误性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台结构特征	组成	衡量头拆分形式
	最高样板非常	28 mm, 128 mm (可以件)
总宽量测	表明鉴别率	10 nm
	相似导致精度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	确切性	±2％^*5
XY 载物台型式	手動程序运行空间	70 mm×70 mm
	自动执行区域	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
观看	查看画面	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	很大摄像讲解率	3072×2304
自动测量用激光器点光源	光的波长	黑色半导体材料脉冲激光 658 nm
	最大化輸出	0.95 mW
	激光器物料	2 类激光器物品 (GB7247.1)
载重量	预估部	约25 kg(拆分时测试头单个: 约8.5 kg)
	管理器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

技术水平技术参数(PDF) 另外的具体型号

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