測量部 VK-X130K

VK-X130K - 测量部

*请目光，小图片中的五金配件或者不是指在服务中。

规格

机型		VK-X130K
综上系数		19200 倍以下^*1
眼光 (超小分析比率)		16 µm 至 5400 µm
帧率	激光行业测试运行速度	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
測量操作过程	光学反应设备	针孔共焦点光电器件系统性
	光受到元器件封装	光电公司飙升器、16 bit 感应开关
	复印方式 (规范估测时及图形相连时)	定时前后限设施性能快速路光量最佳的化性能(AAG Ⅱ)射线光量不充分填补性能(双扫描仪)
高检测的	凸显判别率	5 nm
	规则化标尺刻度
	静态量限 (产于产品的光读取量的不适用浮度)	16 bit
	从复精密度较σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴測量用硬盘	140 万方法流程
	准确度性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台结构类型	架构	预估头分离出来设计
	最主要备样长度	28 mm, 128 mm (自选件)
屏幕宽度匹配测量方法	现示粪便率	10 nm
	连续精确度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	正确性	±2％^*5
XY 载物台结构设计	人工机械运作范围之内	70 mm×70 mm
	電動程序运行标准	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
洞察分析	了解图像文件	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	非常大视频拍摄定量分析率	3072×2304
侧量用机光LED光源	主波长	红白色半导体材料激光束 658 nm
	主要输送	0.95 mW
	激光手术物品	2 类激光手术服务 (GB7247.1)
称重	测量方法部	约25 kg(分离法时检测的头模型: 约8.5 kg)
	把控好器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

技術型号(PDF) 其余机型

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