样子检测智能机械显微设计 VK-X 系列产品

本型号已停产。
产品符合从我司发货时的认证标准。

掌控器 VK-X120K

VK-X120K - 控制器

*提示画面力,画面中的配饰概率不涵盖在物品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

产品型号VK-X120K
宗合倍数

19200 倍以下*1

眼界 (世界最大观察动物空间)16 µm 至 5400 µm
帧頻率二氧化碳激光量测运行速度

4 至120 Hz、7,900 Hz*2

測量方法光学反应整体针孔共聚交光纤激光切割机的机系统
光考虑组件光学增倍器、16 bit 感性
扫苗习惯 (基本精确测量时及彩色图像链接时)手动下上限设施性能 快速路光量最好化性能(AAG Ⅱ)反射面光量不到位继续补充性能(双扫描器)
极度在线测量提示辨认率5 nm
曲线标尺刻度
gif动态示值 (基产品的光发送到量的适合艺术)16 bit
按顺序高精准度σ

20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3

Z轴测定用内存空间140 万步凑
准确无误性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

Z 载物台形式型式估测头分离出来空间结构
最大的原材料特别28 mm, 128 mm (能选件)
长度估测屏幕上显示分辩率10 nm
反复误差3σ

20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3

更准性

±2%*5

XY 载物台设备构造手动式 程序运行领域70 mm×70 mm
电动伸缩 程序运行面积

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

关察观查彩色图像

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

最多外景拍摄介绍率3072×2304
测试用二氧化碳激光面光源吸光度黑色半导体设备机光 658 nm
最明显伤害0.95 mW
二氧化碳激光商品2 类脉冲光食品 (GB7247.1)
自重在测量部约25 kg(分割时精确测量头加聚物: 约8.5 kg)
管理器部约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

技巧尺寸规格(PDF) 一些类型