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VK-X 系列产品
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掌控器 VK-X120K
规格
产品型号 | VK-X120K | |||
宗合倍数 | 19200 倍以下*1 | |||
眼界 (世界最大观察动物空间) | 16 µm 至 5400 µm | |||
帧頻率 | 二氧化碳激光量测运行速度 | 4 至120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
測量方法 | 光学反应整体 | 针孔共聚交光纤激光切割机的机系统 | ||
光考虑组件 | 光学增倍器、16 bit 感性 | |||
扫苗习惯 (基本精确测量时及彩色图像链接时) | 手动下上限设施性能 快速路光量最好化性能(AAG Ⅱ)反射面光量不到位继续补充性能(双扫描器) | |||
极度在线测量 | 提示辨认率 | 5 nm | ||
曲线标尺刻度 | ||||
gif动态示值 (基产品的光发送到量的适合艺术) | 16 bit | |||
按顺序高精准度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
Z轴测定用内存空间 | 140 万步凑 | |||
准确无误性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
Z 载物台形式 | 型式 | 估测头分离出来空间结构 | ||
最大的原材料特别 | 28 mm, 128 mm (能选件) | |||
长度估测 | 屏幕上显示分辩率 | 10 nm | ||
反复误差3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
更准性 | ±2%*5 | |||
XY 载物台设备构造 | 手动式 程序运行领域 | 70 mm×70 mm | ||
电动伸缩 程序运行面积 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
关察 | 观查彩色图像 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
最多外景拍摄介绍率 | 3072×2304 | |||
测试用二氧化碳激光面光源 | 吸光度 | 黑色半导体设备机光 658 nm | ||
最明显伤害 | 0.95 mW | |||
二氧化碳激光商品 | 2 类脉冲光食品 (GB7247.1) | |||
自重 | 在测量部 | 约25 kg(分割时精确测量头加聚物: 约8.5 kg) | ||
管理器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |