图案自动测量激光器显微软件 VK-X 编

本型号已停产。
产品符合从我司发货时的认证标准。

精确测量部 VK-X260K

VK-X260K - 测量部

*请考虑，视频中的车配件概率不包含在新产品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

款式VK-X260K
基础性功率

28000 倍以下*1

眼光 (面值最小考察空间)11 µm 至 5400 µm
帧频繁脉冲光检测极限速度

4 至120 Hz、7，900 Hz*2

检测的原因光电器件设计针孔共对焦磁学系统
光读取器件光电产品增倍器、16 bit 感测器
扫描机模式 (传统在测量时及画面进行连接时)自主上上下下限软件设置特点 高速公路光量绝佳化特点(AAG Ⅱ)射线光量存在问题补特点(双扫码)
角度衡量信息显示辨别好坏率0.5 nm
曲线尺标
技术性分度值 (是来自于工件的的光推送量的可用范围)16 bit
相似误差σ

20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3

Z轴侧量用存储空间1400 万步数
精准的性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

Z 载物台构造节构在测量头分离出来机构
比较大合格品极度28 mm, 128 mm (待选件)
横向量测呈现辨别好坏率1 nm
多个导致精度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3

更有效性

±2％*5

XY 载物台型式手動 工作规模70 mm×70 mm
电动四轮 运转位置

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

仔细观察通过观察影像

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

最主要外景拍摄探讨率3072×2304
精确测量用机光面光源吸光度紫皮秒激光 408 nm
最大化模拟输出0.95 mW
离子束护肤品2 类二氧化碳激光食品 (GB7247.1)
含量精确测量部约26 kg(溶合时測量头缩聚反应: 约10 kg)
设定器部约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

技术性规格尺寸(PDF) 另外规格型号