自动测量部 VK-X160K

VK-X160K - 测量部

*请要留意，图片文字中的部件将不还有在类产品中。

规格

款型		VK-X160K
综上功率		19200 倍以下^*1
视线中 (最窄观察动物规模)		16 µm 至 5400 µm
帧声音频率	激光器在测量效率	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
预估原因	光电器件系统	针孔共聚交光纤激光切割机的系统软件
	光受到零件	光电材料净增器、16 bit 磁感应
	测试方式英文 (标准衡量时及图片接入时)	自主前后左右限制定的工作高速路光量较佳化的工作(AAG Ⅱ)反射层光量达不到补充营养的工作(双扫一扫)
非常侧量	表示判别率	5 nm
	波形表尺
	动态化满量程 (来自五湖四海工件产品的光接受量的使用比率)	16 bit
	重覆精准度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴侧量用手机内存	140 万步
	准确无误性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台的结构	格局	自动测量头分割空间结构
	大供试品高宽比	28 mm, 128 mm (自选件)
间距校正	彰显识别率	10 nm
	从复高精准度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	精确度性	±2％^*5
XY 载物台设备构造	一键启用区域	70 mm×70 mm
	电动式工作的范围	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
留意	观擦图相	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	最明显旅拍探讨率	3072×2304
测定用机光面光源	主波长	橘红色半导体行业皮秒激光 658 nm
	最好輸出	0.95 mW
	缴光新产品	2 类激光束品牌 (GB7247.1)
重量体积	测试部	约25 kg(分离出来时精确测量头竞聚率: 约8.5 kg)
	管控器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

水平規格(PDF) 其它产品型号

大发彩票

自动测量部 VK-X160K

规格