管理器 VK-X150K

VK-X150K - 控制器

*请需要注意，图文中的硬件机会不涵盖在货品中。

规格

型号规格		VK-X150K
综合管理系数		19200 倍以下^*1
观景视野 (超小检查位置)		16 µm 至 5400 µm
帧频段	脉冲光估测强度	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
测试操作过程	光电技术装置	针孔共对焦光学玻璃体系
	光发送构件	光学增涨器、16 bit 感测器
	复印方案 (常規在线测量时及影像连到时)	智能左右限设计作用绕城高速光量最适化作用(AAG Ⅱ)光被反射的光量不佳提供作用(双打印机扫描)
角度测试	显视甄别率	5 nm
	线型表尺
	gif动态测量范围 (出于轴类零件的光发送到量的适用性波动)	16 bit
	重覆gps精度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴估测用运存	140 万步聚
	准确度性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台结构类型	设备构造	测试头剥离型式
	主要产品的样品较高	28 mm, 128 mm (可选装件)
净宽检测	显现分别率	10 nm
	相同高精准度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	为准性	±2％^*5
XY 载物台机构	自动改手动启用区域	70 mm×70 mm
	电动四轮运动区间	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
洞察分析	考察图形	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	比较大拍色阐述率	3072×2304
测试用激光行业点光源	光波长	桔红色半导体行业机光 658 nm
	极大所在	0.95 mW
	激光束企业产品	2 类缴光的产品 (GB7247.1)
体重	測量部	约25 kg(溶合时校正头加聚物: 约8.5 kg)
	操纵器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

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