预估部 VK-X130K

VK-X130K - 测量部

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规格

产品型号		VK-X130K
网络综合系数		19200 倍以下^*1
观景视野 (世界最大关注超范围)		16 µm 至 5400 µm
帧频繁	激光束估测强度	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
检测的道理	光学材料设备	针孔共瞄准光学反应机系统
	光接收入开关元件	光学翻番器、16 bit 感受到
	复印方案 (正规检测的时及影像接触时)	主动上限布置效果迅速光量最佳的化效果(AAG Ⅱ)条件被反射的光量不足之处填补效果(双扫苗)
高速在线测量	表现辨别好坏率	5 nm
	规则化表尺
	各式各样分度值 (基类件的光收到量的不适用范围)	16 bit
	抄袭计算精度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴估测用內存	140 万方法流程
	精准的性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台结构的	型式	量测头提取的结构
	很大试样高速	28 mm, 128 mm (待选件)
长宽比衡量	表明辨别好坏率	10 nm
	重覆精确3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	精确性	±2％^*5
XY 载物台空间结构	人工机械电脑运行区域	70 mm×70 mm
	電動程序运行的范围	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
观察分析	观察植物画面	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	极限拍色分析一下率	3072×2304
侧量用脉冲光灯源	光谱	朱红色半导体器件缴光 658 nm
	最主要輸出	0.95 mW
	脉冲光货品	2 类激光行业的产品 (GB7247.1)
总重	检测部	约25 kg(提取时自动测量头单个: 约8.5 kg)
	有效控制机部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

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