管理器 VK-X120K

VK-X120K - 控制器

*请特别注意，图片搜索中的配饰有机会不有在的产品中。

规格

类型		VK-X120K
宗合功率		19200 倍以下^*1
眼光 (世界上最大分析使用范围)		16 µm 至 5400 µm
帧率	皮秒激光自动测量高速度	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
精确测量操作过程	光电器件装置	针孔共焦点光电系统软件
	光推送元器件封装	光电材料增涨器、16 bit 感觉
	扫锚的方法 (常规化测定时及画面拼接时)	自动化前后左右限软件设置系统高光量最加化系统(AAG Ⅱ)射线光量存在问题填写系统(双扫描拍照)
程度测试	表示鉴别率	5 nm
	直线刻度
	各式各样分度值 (基零部件的光接收入量的实用大幅度)	16 bit
	抄袭定位精度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴量测用存储空间	140 万过程
	精准性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台设计	结构的	估测头分割组成
	非常大打样定制特别	28 mm, 128 mm (自选件)
长度校正	呈现分别率	10 nm
	连续的精密度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	确切性	±2％^*5
XY 载物台成分	手动操作时作业范畴	70 mm×70 mm
	电动三轮启动区域	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
观测	分析图面	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	最大的拍好探讨率	3072×2304
估测用激光器灯光	主波长	橘红色半导体技术离子束 658 nm
	非常大工作输出	0.95 mW
	智能机械產品	2 类离子束软件 (GB7247.1)
容量	检测部	约25 kg(剥离时侧量头聚己内酯: 约8.5 kg)
	抑制器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

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