的形状估测离子束显微系統
VK-X 系
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形壮校正缴光光学显微镜 VK-X100K
规格
机型 | VK-X100K | |||
类行 | 把握器 | |||
物镜调大倍数 | 15" 呈现器的增加倍数 100 倍 | ― | ||
15" 展示器的图像放大功率 200 倍 | ||||
15" 现示器的放缩功率 400 倍 | ||||
15" 展示器的调大倍数 1000 倍 | ||||
15" 体现器的扩大功率 2000 倍 | ||||
15" 体现 器的变成系数 3000 倍 | ||||
检查/自动测量比率 | 程度 (H)﹕ μm | 15" 提示器的放缩系数 100 倍 | ||
15" 体现 器的调大倍数 200 倍 | ||||
15" 现示器的扩大功率 400 倍 | ||||
15" 现示器的调小功率 1000 倍 | ||||
15" 提示器的拖动系数 2000 倍 | ||||
15" 展示器的增加系数 3000 倍 | ||||
垂线 (V)﹕ μm | 15" 呈现器的调小功率 100 倍 | |||
15" 现示器的扩大倍数 200 倍 | ||||
15" 表示器的拖动倍数 400 倍 | ||||
15" 表示器的图像放大系数 1000 倍 | ||||
15" 显示信息器的拖动倍数 2000 倍 | ||||
15" 提示 器的调大倍数 3000 倍 | ||||
工作相应 mm | 15" 凸显器的图像放大系数 100 倍 | |||
15" 展现器的拖动功率 200 倍 | ||||
15" 提示器的调小功率 400 倍 | ||||
15" 屏幕上液晶显示器的变大倍数 1000 倍 | ||||
15" 展示器的变小功率 2000 倍 | ||||
15" 体现 器的增加系数 3000 倍 | ||||
标值直径 (N.A.) | 15" 表示器的增加倍数 100 倍 | |||
15" 显现器的调大系数 200 倍 | ||||
15" 界面显视器的放小功率 400 倍 | ||||
15" 展示器的增加倍数 1000 倍 | ||||
15" 屏幕上电脑显示器的缩放功率 2000 倍 | ||||
15" 显示信息器的变小倍数 3000 倍 | ||||
电子光学微距 | 1 至 8 倍 | |||
综和系数 | 100 至 8000 倍 | |||
留意/侧量光电器件模式 | 针孔共整合光电系統 | |||
高强度测定 | 精确测量空间 | 7 mm | ||
提示分别率 | 0.005 µm | |||
反复高精度σ | 0.02 µm*1 | |||
横向测试 | 表明区分率 | 0.01 µm | ||
连续可靠性强,精密度3σ | 0.05 µm*2 | |||
帧储备 | 相素数 | 2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64 | ||
这对纯色图面 | 16 位 | |||
针对多色图案 | 各个 RGB 8 位 | |||
关于间距量测 | 21 位 | |||
帧次数 | 面扫描仪 | 4 至 120 Hz | ||
线扫描拍照 | 7900 Hz | |||
自然功能表 | AAG (定时增加收益)、定时对焦、定时设计上下两边限, 双打印的对比度设计 | |||
校正用机光照明 | 光的波长 | 网红光电器件离子束, 658 nm | ||
最大程度输出的 | 0.95 mW | |||
机光產品 | II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 *3) | |||
光接受零件 | PMT (光学增涨管) | |||
用作电子光学观测的面光源 | LED灯泡 | 100 W 卤化灯 | ||
用于光学观察的 | 制作开关元件 | 1/3 4英寸色彩 CCD 图面感应器器 | ||
视频拍摄分别率 | 超多柔性生产 (3072 x 2304) | |||
自動校准 | 增益值、快门流速 | |||
统计资料正确处理组件 | KEYENCE 指定专用个人电脑, (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) *4 | |||
额定负载 | 主机电源的电压 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
输出损耗 | 非常大 450 VA | |||
权重 | 约 11 kg | |||
*1 使用 50 倍镜头测量 2 µm 的标准高度差时。 |