分光打搅位移型层层膜厚在线测定仪 SI-T 系例

文件名 下载链接根目录

感知器头 高层变位检测型 SI-T10

SI-T10 - 传感器头 多层变位测量型

*请还要注意,照片中的五金配件能够不包含在產品中。

软件

  • CE 标志概述

规格

形号

SI-T10*1

结构类型很多层位移在测量型 感应器头
分光标段SI-T10U
测定领域 (映射率n=1)0.01 到1.0 mm
考生距離

9 mm*2

检测用照明红外SLD , 打出1 mW , 1 类皮秒激光好产品(IEC60825-1)
激光束网套直径

ø30 µm*3

线型度

±0.3 µm*4

识别率

0.01 µm (0.25 µm)*5*6

抽样的周期1 ms
LED出现工作对象离近精确在线在测量中心站:绿光。工作对象在精确在线在测量超范围内内:橙光。工作对象在精确在线在测量超范围内外:橙光忽明忽暗。
大环境抗忍耐力金属外壳安全防护网级IP64
生活环境光照度节能灯管、荧光灯:10000 lux 下面的
区域工作温度表0 到+40°C
相对于气温35 到85%RH(无冷却水)
抗震性性

10 到55Hz,XYZ 方向上1.5 mm
双倍振幅,各2 小时

文件SUS304
克重约 70g (含相连接头两端)

*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
*2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*3 表示测量范围内的最小光束直径。
*4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
*6 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为🍌 4096 次时获得的值

方法年纪(PDF) 一些主要参数