分光干涉仪式晶片的厚度计
SI-F80R 产品
感知器头 薄片机的薄厚检测的型 SI-F80R
规格
型號 | SI-F80R*1 | |||
性质 | 晶片壁厚测定型 感测器头 | |||
在线测量面积 | 10 至 310 µm (n=3.5 时)*2 | |||
可实现目标的检查高度 | 80 至 81.1 mm | |||
灯光 | 红外 SLD 输出 0.6 mW, 1 类激光产品(IEC60825-1, FDA(CDRH)Part 1040.10 *3) | |||
光线截面积 | ø25 µm*4 | |||
规则化度 | ±0.1 µm*5 | |||
辩别率 | 0.25 µm*6 | |||
激光脉冲继续时间间隔 | 200 µs | |||
LED 信号灯器 | 类件靠进測量中央 : 绿光。类件在測量时间范围内内 : 橙光。类件在測量时间范围内外 : 橙光灯闪。 | |||
溫度振幅 | ― | |||
生态抗耐心 | 壳体防护栏级 | IP64 | ||
氛围太阳光照 | 节能灯管/荧光灯:较大 10,000 lux | |||
周围环境水温 | 0 至 +50 °C | |||
相对的室内湿度 | 35 至 85 % RH (无初凝) | |||
抗震烈度性 | 10 至 55 Hz、双波幅 1.5 mm、X,Y,Z 放向各 2 个分钟 | |||
的材料 | SUS | |||
重量体积 | 约 70 g (含接连线) | |||
*1 传感头和光谱单元成对校准。两者不可互换。 |