测试头 WI-010

WI-010 - 测量头

*请需要注意，圖片中的配件网将会不例如在食品中。

软件

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

参数

WI-010*1*2*3

关联性范围18 mm
预估领域Z1.4 mm(规格基本模式英文)，0.7 mm(迅速基本模式英文)
XY10 × 10 mm
最窄判断位置40 × 40 µm
多个精确度(段差)

0.1 µm*4

直曲线(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5

衡量用面光源型号红外线SLD
学校激发光谱830 nm
二氧化碳激光类别(IEC60825-1, GB7247.1)3R 类
传输3.6 mW
牵引用led灯光业务类型桔红色半导体行业智能机械
激发光谱660 nm
激光机器总类(IEC60825-1, GB7247.1)1 类
所在0.15 mW
抽样周期性组织结构激发133 ms(速度经营策略)，266 ms(标准的经营策略)
外开启

最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6

区域环境抗耐心环镜太阳光白炽灯泡/荧光灯：5,000 lux 下类
坏境室温0 至 +35 °C
相干湿度20 至 85 % RH (无缓凝)
含水量约 3000 g

*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
*2 使用基恩士标准目标物，并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
*3 矩形的尺寸为WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
*4 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*5 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms，标准模式 240 ms。

新技术规模(PDF) 某些机型