测量方法头 WI-004

WI-004 - 测量头

*请准备，照片中的配件批发概率不也包括通过产品的中。

软件

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

款式

WI-004*1*2*3

决定性高度18 mm
预估规模Z1.4 mm(基准机制，)，0.7 mm(高速度机制，)
XY4 × 4 mm
比较小检查测量范围15 × 15 µm
反复gps精度(段差)

0.1 µm*4

直非线性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5

预估用面光源业务类型红外线SLD
心中光波波长830 nm
激光手术几大类(IEC60825-1, GB7247.1)3R 类
导出3.6 mW
引导作用用led灯光类红色的光电器件脉冲激光
可见光波长660 nm
脉冲光区分(IEC60825-1, GB7247.1)1 类
输送0.15 mW
取样时间间隔室内闪避133 ms(飞速状态)，266 ms(规范状态)
静态捕获

最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6

室内环境抗耐心自然环境太阳光荧光灯/荧光灯：5,000 lux 接下来
场景气温0 至 +35 °C
相对应水分子含量20 至 85 % RH (无凝固)
含水量约 3000 g

*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
*2 使用基恩士标准目标物，并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
*3 矩形的尺寸为WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
*4 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*5 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms，标准模式 240 ms。

工艺年纪(PDF) 另外技术参数