在测量头 WI-001

WI-001 - 测量头

*请准备，图片文字中的陪件几率不分为在物品中。

软件

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

尺寸

WI-001*1*2*3

符合长度18 mm
在线测量使用范围Z1.4 mm(标准方式，)，0.7 mm(高速度方式，)
XY1 × 1 mm
很小论文检测空间区域4 × 4 µm
按顺序精确(段差)

0.1 µm*4

直平滑(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5

检测的用光照型号红外线SLD
重点光波长830 nm
激光手术几大类(IEC60825-1, GB7247.1)3R 类
所在3.6 mW
疏导用照明类形紫色半导体技术脉冲激光
吸光度660 nm
激光束细分(IEC60825-1, GB7247.1)1 类
输入输出0.15 mW
取样时间的内部驱散133 ms(极速形式 )，266 ms(规则形式 )
其他驱散

最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6

生活环境抗抵抗能力的环境太阳光照晒节能灯管/荧光灯：5,000 lux 下面的
大环境气温0 至 +35 °C
相对性湿球温度20 至 85 % RH (无初凝)
称重约 3000 g

*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
*2 使用基恩士标准目标物，并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
*3 矩形的尺寸为WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
*4 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*5 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms，标准模式 240 ms。

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