^*1 X：激光长尺寸方向、Y：激光短尺寸方向
^*2 以基准距离进行正对安装时。扫描模式：在高度工具、测量点小、无位置修正的条件下测量时。
^*3 以基准距离进行正对安装时。扫描模式：在区域高度工具、平均尺寸小、无位置修正的条件下测量时。
^*4 以基准距离进行正对安装时。扫描模式：在针脚高度工具、无位置修正的条件下测量时。
^*5 以基准距离进行正对安装时。直线模式 ：在高度工具、工具窗口尺寸最小、无位置修正的条件下测量时。
^*6 在扫描模式下，使用高度工具的测量点“大”，以基准距离将基恩士标准目标物（白色扩散板）放置在视野中央位置时测得的值。
^*7 以基准距离进行正对安装时。
在直线模式下，以平均滤波器：4 次、边缘位置工具、无位置修正的条件测量金属块规时。
在宽度 / 直径工具的宽度模式下，检测参考为边缘检测参考值的 2 倍。基准距离下，各机型的边缘检测所需的最小高度差（参考）如下所示。
IX-055：0.8 mm、IX-080：1.0 mm、IX-150：2 mm、IX-360：4 mm、IX-360W：4 mm
^*8 与目标物间的距离为基准距离时。
各机型的 F.S. 如下所示。
IX-055：±10 mm、IX-080：±18 mm、IX-150：±50 mm、IX-360：±80 mm、IX-360W：±80 mm
^*9 初始设定时。对象为激光光源。
^*10 金属安装时。