3D 边缘测试仪 的工作头 (高端大气cpu型号) VR-6200

VR-6200 - 3D 轮廓测量仪 工作头 (高端机型)

*请特别留意,圖片中的辅件概率不比如在护肤品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型號VR-6200
工作上头
抑制器VR-6000
探究生理盲点低倍(大生理盲点)15 4英寸展示器上的倍数 12×垂直24.0 mm
双向18.0 mm
15 屏幕尺寸提示 器上的功率 25×竖向12.0 mm
双向9.0 mm
15 寸大信息屏幕上的系数 38×竖向8.0 mm
横纵向6.0 mm
15 5英寸提示器上的系数 50×横项
垂直4.5 mm
高倍(满辩别率)15 9英寸显现器上的功率 40×纵向7.6 mm
双向5.7 mm
15 英尺展现器上的倍数 80×横着3.8 mm
纵向设计2.9 mm
15 英尺凸显器上的倍数 120×跨页2.5 mm
侧向1.9 mm
15 英尺显视器上的功率 160×上下
可以1.4 mm
光学变焦1 至4 倍
高速测量方法界面显示鉴别率0.1 μm
髙度测定 标准无Z 连接方式

低倍(大视野): 10 mm
高倍(高分辨率): 1 mm

有Z 连入

低倍(大视野): 50 mm
高倍(高分辨率): 30 mm

多次控制精度 σ无Z 相连接

0.4 μm *1

有Z 链接

1.0 μm *1

有效性无Z 相连

±2.5 μm *1

有Z 链接

±4.0 μm *1

高度侧量从复精密度σ

低倍(大视野): 1 μm
高倍(高分辨率): 0.5 μm
*1

无误性

低倍(大视野): ±5 μm
高倍(高分辨率): ±2 μm
*1

图案无缝拼接效果

全自动测量(XY 自动控制+Z 自动控制、θ 自动控制)、自动创建MAP 图像、自动设定区域 *2

数字图像剪切性能智能扭动单元测试

支持 *2

XY 可检测的范围之内

300 × 150 mm *2

载物台XY 往返278 × 134 mm(电动式)
Z 旅程69 mm(电动伸缩)
必须沙袋绑腿4.5 kg
姿态距75 mm
拍摄照片器件1 5英寸400 万图片像素彩色CMOS
投光摄像镜头双远心电影镜头×2
受光长焦双远心长焦
照明体系体系查看用点光源LED 环型照明设计(红、蓝、绿)
衡量用泛光灯暗红色LED
数剧进行处理部基恩士特定专用的台式电脑(使用体系为Windows 10 Pro)
供电电直流电压AC100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz
花费热效率200 VA 一些
生态抗忍耐性环境摄氏度+ 15 ~ 30℃
相对应水分子含量20 至80%RH(无冷却)
承重

约28 kg *3

*1 使用基恩士规定的基准规、以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值(环境温度23 ±1℃)
*2 需要使用测量功能扩展模块(VR-H4J)
*3 测量部单体的重量约为11kg

技术工艺外形尺寸(PDF) 任何型號