全会自动影象侧量仪
LM-X 系类
测量方法头 装配色彩激光器/ 沾染探测器 LM-X100TL
规格
具体型号 | LM-X100TL | |||
性质 | 衡量头 | |||
拍攝电子器件 | 1 型 2000 万分辨率 經典CMOS | |||
受光屏幕 | 双远心境头 | |||
图面自动测量 | 视眼 | 广视眼在线测量经营模式 | 325 mm × 175 mm | |
高高精准度测定模式切换 | 306 mm × 156 mm | |||
最大表示院校 | 0.1 μm | |||
多个精密度较 | 角度内(2σ) | 广视域精确测量经济模式 | ±0.5 μm | |
高表面粗糙度衡量模式切换 | ±0.1 μm | |||
有座标台中国移动 | X/Y 轴 | ±0.9 μm | ||
XY 平米 | ||||
侧量高精度 | 视线中内(2σ) | 广视角自动测量模式, | ±2 μm *1 | |
高导致精度测试形式 | ±0.7 μm *2 | |||
有座标台手机端 | X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE) | ±(1.8 + 0.02 L)μm *3 | ||
XY 剖面(EUXY , MPE) | ±(2.8 + 0.02 L)μm *3 | |||
AF 超高衡量 | 相同精准度 | ±2 μm | ||
衡量高精准度(EUZ,MPE) | ±(4.8 + 0.04 L)μm *4 | |||
脉冲激光较高在测量 | 可检测的位置(XY) | 239 mm × 146 mm | ||
很小展示工作单位 | 0.1 μm | |||
反复重复精确度 | ±0.6 μm *5 | |||
在测量误差(EUZ,MPE) | ±(4.8 + 0.04 L)μm *4 | |||
光点内直径 | ø50 μm | |||
缴光技能等级 | Class 1 | |||
交往探测器測量 | 可衡量条件(XY) | 248 mm × 141 mm | ||
在测量力 | 0.015 N *6 | |||
面积最小提示 方 | 0.1 μm | |||
相同准确度 | X/Y 轴 | ±1.4 μm | ||
XY 立体 | ||||
Z 轴 | ||||
测量方法精确 | X/Y 轴(EUX,MPE EUY,MPE) | ±(2.8 + 0.02 L)μm *7 | ||
XY 立体图(EUXY,MPE) | ±(3.8 + 0.02 L)μm *7 | |||
Z 轴(EUZ,MPE) | ±(4.8 + 0.04 L)μm *4 | |||
外部无线遥控范围录入 | 无电压降录入(有常闭触点/ 无常闭触点) | |||
异常輸出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 输出 | ||
灯具照明控制系统 | 透射 | 墨绿色LED 远心映出灯饰照明 | ||
落射 | 彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明(电动) | |||
静态照明设备调节 | 光量操纵 | PWM 操作 100 kHz | ||
传输输出功率 | 12 VDC | |||
伤害电流大小 | 1.6 A(最大程度) | |||
XY 座标台 | 手机端条件 | 300 mm × 150 mm | ||
承受压力负重深蹲 | 7 kg | |||
Z 座标台 | 运动范围之内 | 75 mm(电动四轮) | ||
24v电源 | 相电压相电压 | 100 至240 VAC ±10%(50/60 Hz) | ||
消耗掉电机功率 | 150 VA 下例 | |||
条件抗意志力 | 条件水温 | +10 至35° C *8 | ||
比较环境湿度 | 20 至80%RH(无凝聚) | |||
过电流专业类别 | Ⅱ | |||
污染源技能等级 | 2 | |||
容量 | 约35 kg | |||
*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时 |