测量方法头 装配色彩激光器/ 沾染探测器 LM-X100TL

LM-X100TL - 测量头 搭载彩色激光/ 接触探头

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  • CE 标志概述
  • CSA

规格

具体型号LM-X100TL
性质衡量头
拍攝电子器件1 型 2000 万分辨率 經典CMOS
受光屏幕双远心境头
图面自动测量视眼广视眼在线测量经营模式325 mm × 175 mm
高高精准度测定模式切换306 mm × 156 mm
最大表示院校0.1 μm
多个精密度较角度内(2σ)广视域精确测量经济模式±0.5 μm
高表面粗糙度衡量模式切换±0.1 μm
有座标台中国移动X/Y 轴±0.9 μm
XY 平米
侧量高精度视线中内(2σ)广视角自动测量模式,

±2 μm *1

高导致精度测试形式

±0.7 μm *2

有座标台手机端X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L)μm *3

XY 剖面(EUXY , MPE)

±(2.8 + 0.02 L)μm *3

AF 超高衡量相同精准度±2 μm
衡量高精准度(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

脉冲激光较高在测量可检测的位置(XY)239 mm × 146 mm
很小展示工作单位0.1 μm
反复重复精确度

±0.6 μm *5

在测量误差(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

光点内直径ø50 μm
缴光技能等级Class 1
交往探测器測量可衡量条件(XY)248 mm × 141 mm
在测量力

0.015 N *6

面积最小提示 方0.1 μm
相同准确度X/Y 轴±1.4 μm
XY 立体
Z 轴
测量方法精确X/Y 轴(EUX,MPE EUY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L)μm *7

XY 立体图(EUXY,MPE)

±(3.8 + 0.02 L)μm *7

Z 轴(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

外部无线遥控范围录入无电压降录入(有常闭触点/ 无常闭触点)
异常輸出OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 输出
额定负载24 VDC、0.5 A
ON 电阻 50 mΩ 以下

灯具照明控制系统透射墨绿色LED 远心映出灯饰照明
落射

彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明(电动)
绿色LED 缝隙环状(指向性)侧射照明(电动)
白色LED 远心同轴照明

静态照明设备调节光量操纵PWM 操作 100 kHz
传输输出功率12 VDC
伤害电流大小1.6 A(最大程度)
XY 座标台手机端条件

300 mm × 150 mm
(电动)

承受压力负重深蹲7 kg
Z 座标台运动范围之内75 mm(电动四轮)
24v电源相电压相电压100 至240 VAC ±10%(50/60 Hz)
消耗掉电机功率150 VA 下例
条件抗意志力条件水温

+10 至35° C *8

比较环境湿度20 至80%RH(无凝聚)
过电流专业类别
污染源技能等级2
容量约35 kg

*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时
*2 在5 mm × 5 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时
*3 参考ISO10360-7,于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C、座标台载重2 kg 以下时,L 为XY 座标台移动量(mm)
*4 参考ISO10360-7,面- 点高度、使用环境温度+23±1° C、测量目标物的最大高度设定在50 mm 以下时,L 为Z 座标台移动量(mm)
*5 使用环境温度为+23±1° C 时测量基恩士标准目标物
*6 代表值
*7 参考ISO10360-7,使用环境温度+23 ±1° C、座标台载重2 kg 以下时,L 为XY 座标台移动量(mm)
*8 XY 座标台移动速度80 mm/s 时为+15 至35° C

方法样式(PDF) 的类型