^*1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时
^*2 在 280 mm × 180 mm（4 角 R40）范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 3 kg 以下时。L 为座标台移动量（mm）
^*3 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时
^*4 在 220 mm × 120 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 3 kg 以下时。L 为座标台移动量（mm）
^*5 在 L218 mm × ø60 mm 范围内。于调焦点位置，将目标物配置于镜头视野中央，使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 ±1°C、D 为 Y 方向距离（mm）
^*6 在 L206 mm × ø20 mm 范围内。于调焦点位置，将目标物配置于镜头视野中央，使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 到 1°C、D 为 Y 方向距离（mm）
^*7 检测方法为标准时。采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm
^*8 采用标准检测方法、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 3 kg 以下时。采用适用于较深位置的检测方法时为 ±（10 + 0.02 L）µm。L 为测量长度（mm）
^*9 环境温度为 +23 ±1°C 的情况下
^*10 测量最大高度设为 30 mm 以下时。测量最大高度设定在 30 mm 至 75 mm 的范围内时为 ±3 µm
^*11 标准玻璃、测量最大高度设为 30 mm 以下时。测量最大高度设为 30 mm 以🧸下时。测量最♐大高度设定在 30 mm 至 75 mm 的范围内时为 ±9.5 µm