传统机型一般^*通过一维激光位移计检测槽口的位置。 随着晶圆薄型化发展，出现了翘曲变大后光𒐪点无法聚焦的问题。 LJ-X系列通过♎使用线激光，因此可以应对晶圆翘曲引起的位置偏差问题。

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如今主压轮的实时监控转变 和热度转变 ，刚丝锯的边距会造成变更。 使用定时对刚丝锯开展边距自动测量，使调整压轮的前应可视化管理。

能够 0.001μm的判别率开展过高计算误差检测。 随着感测头不起热，之所以应该在室内温对较近的环境的零反应和由室内温漂移引发的的零检测计算误差的情形下开展检测。

激光切片的层厚层不厚，大多数就只有十几μm。粗加工后的刀头或许会现身刀尖破损的情形，确认定期存款对刀头的层厚开展在线测量，可大幅度降低维护与保养所需要要的工时。

假设自动化焊接机器人的程度地方發生影响，有机会会在晶圆媒体中与晶圆出现争端，因此需求按时在精确测量。 依据在使用巨大程感应器器摄像头需要于此穿过视口采取在精确测量。

实用查测体视高倍显微镜或体视高倍显微镜参与网页版制样。难题是人工费查测的角度来源于不一致性，需求用周期来体检。 WI-5000品类在镜面玻璃和公开原料上也能够参与中国统一查测，因为可防止出现认为确定误差，拉长查测周期。

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具，即可简单测量。另外，通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄，实现以往^*难以达到的高精度形状测量。

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CL-3000系类选取家庭型估测头，也也容易装到试验装置上，纵然是硅晶圆等弧面学习目标物，也可规范地估测长距离。

搭载厚度测量时专属的传感头固定夹具及光轴调整功能，实现了出色的高精度厚度测量。
即使是表面粗略的晶圆，也能稳定地测量。

的使用二个传感器头，即便是是铸锭等大要求物，也可非碰触在测试。除此之外，旁边拖动旁边在测试，也可控制全周的外径、真圆度在测试。

由漫射线等因素，很容易对光亮强的槽造型采取非玩测试，是LJ-X类型媲美可以抑制一些抑制的自动研发项目管理功效，实行稳定性高的造型测试。