传统机型一般^*通过一维激光位移计检测槽口的位置。 随着晶圆薄型化发展，出现了翘曲变大后光点无法聚焦的问题。 LJ-X系列通过使用线激光，因🍨此可以应🉐对晶圆翘曲引起的位置偏差问题。

*与本集团公司LK-G3000货品的更加

近年来主滑动的实时监控转变和温暖转变，丝绳锯的高度会发生的异动。 按照开展对丝绳锯开始高度校正，使更換滑动的指征可视化效果。

按照0.001μm的判别率做出二次搬运费精准度测定。 随着感测头不发高烧，之所以都可以在高温对身边环境的零干扰和由高温漂移带来的零测定差值的问题下做出测定。

切开片的层厚较薄，平常只要十多微米换算。工艺后的刮刀图片应该会有刀尖损伤、的情况发生，根据不定期对刮刀图片的层厚参与检测的，还可以消减定期检查需要的要的工时。

比如机制手的极度部位产生了变幻，需要会在晶圆各种载体中与晶圆产生了矛盾，而且要求做好量测。 按照施用大规模程调节器器摄像头需要走过视口做好量测。

食用在衡量体视体视显微镜或体视体视显微镜开始连接超时制样。相关问题是机器在衡量的地方来源于的差异，要消费准确用时来检修。 WI-5000编在鏡面和透明的木块上也不错开始制定在衡量，因为可防范由人误差率，减短检验准确用时。

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具，即可简单测量。另外，通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄，实现以往^*难以达到的高精度形状测量。

*与本厂家LJ-G5000产品设备的相对

CL-3000系列作品采取中小型侧量头，也有利于组装到设备上，尽管是硅晶圆等雾面方向物，也可科学合理地侧量距離。

搭载厚度测量时专属的传感头固定夹具及光轴调整功能，实现了出色的高精度厚度测量。
即使是表面粗略的晶圆，也能稳定地测量。

运用俩感测器头，纵使是铸锭等大工作目标物，也可非了解量测。其他，一半转一半量测，也可达成全周的外径、真圆度量测。

会因为漫条件反射等原故，不易对色泽强的槽图案采取非玩在自动测量，但有LJ-X题材装配能够抑制那些打扰的有意识的主动研发部门特点，推动平衡的图案在自动测量。